無塵室內(nèi)該如何防止微粒子污染呢?應(yīng)遵守下列四項(xiàng)基本原則:
1.不攜入在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有:
1)作業(yè)員進(jìn)入無塵室前,機(jī)臺(tái)、零件攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理;
2)進(jìn)入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
3)通過風(fēng)淋室時(shí)利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,才能進(jìn)入無塵室。
4)機(jī)器及材料帶進(jìn)無塵室前,應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭,經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入無塵室。
5)無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。
2.不發(fā)生 在控制污染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時(shí),也應(yīng)控制第二大污染源—制造機(jī)臺(tái)的發(fā)塵量。因物品在移動(dòng)時(shí),所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會(huì)造成發(fā)塵,而物品在移動(dòng)時(shí)也會(huì)有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到小限度應(yīng)采取以下對(duì)策:
1)減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài);
2)采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì);
3)采用發(fā)塵小的潤(rùn)滑油;
4)機(jī)臺(tái)應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理。
3.不儲(chǔ)備 若能徹底實(shí)施“不攜入”技術(shù),無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁出入及制造機(jī)臺(tái)的掣動(dòng),在廣大的無塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。因此“不儲(chǔ)備”技術(shù)快速地在過濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會(huì)依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動(dòng)及不穩(wěn)定的氣流會(huì)使這些累積微粒在空氣中再度揚(yáng)起,增加了重大微粒子污染的危險(xiǎn)性。 無塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度,使用高性能的過濾器即可容易達(dá)到零水平,實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)由于作業(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等,在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子,因而造成了元件清潔面的粒子污染?! ?/p>
在高等級(jí)的無塵室中從天花板到地面,完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動(dòng)。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和完全過濾空氣完全交換所計(jì)算出來的數(shù)值。同時(shí),空氣的流向也必須要有控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻,因?yàn)樵诹魍窂街杏姓系K物的話,容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域,使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長(zhǎng)時(shí)間漂流在無塵室內(nèi),而一部分會(huì)附著在周邊機(jī)器設(shè)備的表面而引起污染。 控制氣流可防止微粒子累積,但對(duì)于帶電表面的微粒累積就無法防止。
無塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度,使用高性能的過濾器即可容易達(dá)到零水平,實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)由于作業(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等,在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子,因而造成了元件清潔面的粒子污染。
4.潔要求
(1)、清潔潔凈室內(nèi)的墻時(shí)應(yīng)使用潔凈室無塵布;
(2)、用90%去離子水和10%的異丙醇配置清潔劑;
(3)、使用已獲批準(zhǔn)的潔凈室專用去污劑;
(4)、每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱,并及時(shí)清走。
(5)、每塊地板都要吸塵。每次交接班時(shí),都應(yīng)在地圖上標(biāo)明工作完成情況,例如在哪結(jié)束從哪開始。
(6)、清潔潔凈室的地面應(yīng)使用專用拖把。
(7)、在潔凈室里吸塵應(yīng)使用帶有高效過濾器的專用真空吸塵器。
(8)、所有的門都需要檢查并擦干
(9)、吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。
(10)、架空地板下也要吸塵及擦拭。
(11)、三個(gè)月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。
(12)、工作時(shí)一定要記住,永遠(yuǎn)是由上往下擦,從離門最遠(yuǎn)的地方向門的方向擦。
無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room)、無塵室,是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性?!?/p>