凈化工程在一定空間范圍內(nèi),將空氣中的微粒子,有害空氣,細菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度,潔凈度,壓力,氣流速度與氣流分布,噪音振動及照明,靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感,隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,凈化工程所以對溫度波動范圍的要求越來越小,例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。
濕度過高產(chǎn)生的問題更多,相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故,相對濕度在50%時易生銹,此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。
一般情況下,手術(shù)室凈化工程空氣過濾器原則如下:。
1.正確確定過濾器特征,過濾器的特征主要凈化車間是過濾效率,阻力,穿透率,容塵量,過濾風(fēng)速及處理風(fēng)量等,在條件容許的情況下,應(yīng)盡可能選用高效,低阻,容塵量大,過濾風(fēng)速適中,處理風(fēng)量大。
2.根據(jù)室內(nèi)要求的潔凈凈化標(biāo)準(zhǔn),確定最末級的空氣過濾器的效率。
3.正確測定室外空氣的含塵量和塵粒特征,因為過濾器是將室外空氣過濾凈化后送入室內(nèi),所以室外空氣的含塵量是一個很重要的數(shù)據(jù),特別是在多級凈化過濾處理,選擇預(yù)過濾器時要將使用環(huán)境,備件費用,運行能耗,維護與供貨等因素綜合考慮后決定。