凈化工程在一定空間范圍內(nèi)，將空氣中的微粒子，有害空氣，細菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度，潔凈度，壓力，氣流速度與氣流分布，噪音振動及照明，靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。

　　潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感，隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。

　　具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，凈化工程所以對溫度波動范圍的要求越來越小，例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。

　　濕度過高產(chǎn)生的問題更多，相對濕度超過55％時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故，相對濕度在50％時易生銹，此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。

　　一般情況下，手術(shù)室凈化工程空氣過濾器原則如下：。

　　1.正確確定過濾器特征，過濾器的特征主要凈化車間是過濾效率，阻力，穿透率，容塵量，過濾風(fēng)速及處理風(fēng)量等，在條件容許的情況下，應(yīng)盡可能選用高效，低阻，容塵量大，過濾風(fēng)速適中，處理風(fēng)量大。

　　2.根據(jù)室內(nèi)要求的潔凈凈化標(biāo)準(zhǔn)，確定最末級的空氣過濾器的效率。

　　3.正確測定室外空氣的含塵量和塵粒特征，因為過濾器是將室外空氣過濾凈化后送入室內(nèi)，所以室外空氣的含塵量是一個很重要的數(shù)據(jù)，特別是在多級凈化過濾處理，選擇預(yù)過濾器時要將使用環(huán)境，備件費用，運行能耗，維護與供貨等因素綜合考慮后決定。